Název přístroje: Plně automatický iontový postřikovač Model: ETD-800

Princip: diodové DC stříkání

Název přístroje: Iontový rozptylovač Model: ETD-900M

Princip: Magnetronní stříkání

Při magnetronovém rozptylování, protože pohyblivé elektrony jsou vystaveny Lorenzově síle v magnetickém poli, jejich pohyblivá dráha se ohýbá nebo dokonce produkuje.

Hrubý spirálový pohyb, jeho pohybová dráha se prodlouží, čímž se zvyšuje počet kolizí s molekulami pracovního plynu, což zvyšuje hustotu plazmy, čímž se rychlost rozptylu magnetronu značně zlepšuje a může pracovat při nižším rozptylovacím napětí a tlaku vzduchu. Zároveň se elektrony, které ztrácejí energii po několika srážkách, při dosažení anody mění na elektrony s nízkou energií, aby se podložka nepřehřívala.

Parametry ETD-800:

Specifikace hostitele: 260mm × 307mm × 260mm (Š × Š × V)

Napájení: 220V/50Hz

Cíl (horní elektroda): 50 mm x 0,1 mm (D x H)

Cíl: Au

Vakuová vzorková komora: Borsilikátové sklo 115 mm x 100 mm (D x H)

Časovač: zui Délka: 3600S

Mechanické čerpadlo: 1L/S

Vysoké napětí: -1200 DCV

Parametry ETD-900M:

Specifikace hostitele: 300mm × 360mm × 380mm (Š × Š × V)

Cíl (horní elektroda): 50 mm x 0,1 mm (D x H)

Cíl: Au (standardní)

Vzorková místnost: borosilikátové sklo 160mm × 120mm (D × H)

Velikost cíle: Ф 50mm

真空指示表： zui 高真空度： ≤ 4X10-2 mbar

Iontový měřič proudu: Zui Velký proud: 50mA

Časovač: Zui Délka: 0-360S

Mikrovakuový ventil: připojitelná hadice φ 3mm

Přístupné plyny: různé

Vysoké napětí: -1600 DCV

Mechanické čerpadlo: standardní konfigurace 2L/S (domácí výroba VRD-8)

Vlastnosti a použití:

Použití ETD-800:

Příprava vzorků pro skenovací elektronový mikroskop (SEM) pro elektroskopické laboratoře.

Vlastnosti:

Povlak jemných částic lze dosáhnout výměnou různých cílů (zlato, platina, stříbro atd.).

Jedno kliknutím, snadné použití.

Použití ETD-900M:

Příprava vzorků pro skenovací elektronový mikroskop (SEM) pro elektroskopické laboratoře, výroba experimentálních elektrod z neprovodicích materiálů.

Vlastnosti:

Jednoduché, ekonomické, spolehlivé a krásné.

2, lze nastavit proud stříkání a tlak vakuové komory, aby se řídila rychlost povlaku a velikost částic.

Tlačítko SETPLASMA pro ruční spuštění umožňuje přednastavení tlaku a proudu rozptylu, aby se zabránilo zbytečnému poškození membrány.

Vakuová ochrana může zabránit příliš nízkému vakuu způsobujícímu zkrácení zařízení.

Zároveň lze dosáhnout povlaku jemnějších částic výměnou různých cílů (zlato, platina, iridium, stříbro, měď atd.).

Dosáhnout čistějšího povlaku prostřednictvím průchodu různých inertních plynů.