Atomový mikroskop Park Systems XE-15

Přístroj:

Park XE-15 je plně kompatibilní se vzorky. Jeho různé vzorkové stoly jsou navrženy tak, aby poskytly pohodlné a spolehlivé zkušební prostředí pro různé velikosti, tvary a množství vzorků. Odpojený uzavřený smyček XY skener eliminuje chyby ohýbání efektu a poskytuje lineárnost. Režim skutečného bezkontaktního skenování rozšiřuje výběr vhodných vzorků a zároveň výrazně prodlužuje životnost sondy a snižuje náklady na použití.

Technické parametry atomového mikroskopu Park Systems XE-15:

Skenery

XY skenery

Flexibilní řízený jednomodulový skener s uzavřeným obvodem

Rozsah skenování 100 μm * 100 μm (volitelné 50 μm * 50 μm)

Posun plochy: <2nm (skenování 40μm * 40μm)

Z skener

Flexibilní řízený výkonný skener

Rozsah skenování 12 μm (volitelně 25 μm)

Rezonanční frekvence: > 5 kHz

Hluk zobrazování povrchu: 0,03 nm

Vzorový stůl

Typ vzorkového stolu: 16-místní vzorkový stůl / vakuová adsorpční stůl s průměrem 150 mm (volitelná vakuová adsorpční stůl s průměrem 200 mm)

Velikost vzorku: 150mm * 150mm * 20mm

Hmotnost vzorku: 500g

Rozsah pohybu vzorkového stolu: 150mm * 150mm (volitelné 200mm * 200mm)

Hlavní funkce:

Inovativní design vzorkového stolu s více místy pro efektivitu práce

ZUI může skenovat až 16 vzorků

Jednoduché umístění vzorků a rychlé skenování

Výrazně zlepšuje přesnost a opakovatelnost dat

Podpora velkých vzorků pro uspokojení potřeb rozvoje průmyslu

● Zui velká podpora 200 mm disků, aby vyhovovaly současným a budoucím potřebám uživatelů

Speciální návrh, který splňuje skutečné potřeby uživatelů souvisejících s polovodiči

Bohatý výběr funkčních režimů

Vylepšená podpora různých funkcí SPM

• Podpora různých možností měření

● Podpora různých volitelných příslušenství, rozšíření vynikající výkon