Modelové číslo

K1000A

K1000B

K1000C

Specifikace průtoku (průtok převodu N2)

Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM

Koše 2: 30 SCCM ~ 100SCCM

Bin 6: 3SLM ~10SLM

60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

Bin 3: 100SCCM~300SCCM

Bin 7: 10SLM~ 30SLM

Bin 8: 30 SLM ~50SLM

150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM, 1000SLM (N2, H2, Air atd.)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

Bin 5: 1SLM ~3SLM

Typ ventilu

N/O: běžně otevřený, N/C: běžně zavřený

N/C: běžně uzavřený

Rozsah řízení toku

2%～100%F.S.

Přesnost

100%～25%：±1.0% of S.P.，
25%～2%：±0.25%F.S.
(přesnost 15 až 35 °C)

± 1% F.S. (zaručený rozsah přesnosti 15-35 ℃)

± 2% F.S. (zaručený rozsah přesnosti 15-35 ℃)

Teplota pracovního prostředí

5～50℃

5～45℃

Doba odpovědi

≦1sec

≦3sec

Lineární

±0.5%F.S.

Přesnost opakování

±0.2%F.S.

Rozsah pracovního tlaku

N/O100 až 300KPa (3SLM až 10SLM)

50 až 300KPa

N/O150 až 300KPa (11SLM až 30SLM)

200～300KPa

(Ar: 100 až 300 kPa)

N/C100 až 300KPa (3SLM až 30SLM)

（Ar: 250～450KPa）

100 až 300 kPa

150 až 300KPa

300～450kPa (H2：150～300kPa)

（Ar 200～3500KPa）

Teplotní koeficient

Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃

Maximální pracovní tlak

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

Odolnost proti tlaku

1MPa

Míra úniků

Kovové těsnění: 1 x 10^－11Pa・m³/sec He (1×10^－10atm・cc/sec He)

Těsnění gumového kroužku: 1 × 10^-7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Těsnění gumového kroužku: 1 × 10^－7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Těsnění materiálu

kovové těsnění; fluorová guma; Neoprenová guma

fluorová guma; Neoprenová guma

Formy komunikace

Analogové: 0-5V DC Digitální: RS485, DeviceNet, EtherCAT

Analogové: 0-5V DC Digitální: RS485, DeviceNet,

Napájení

Analogové / digitální: + 15VDC 50mA, -15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

Standardní formy spojů

1/4 sluneční konektor, 1/4 sluneční konektor, 1,5'' W-Seal, 1,125'' W-Seal, 1,125'' C-Seal

VCR 3/8 sluneční konektor, dvě karty 3/8 sluneční konektor

VCR 1/2 sluneční konektor, dvě karty 1/2 sluneční konektor

Hmotnost

1.0kg

3.0kg

3.7kg