Značka: Gatan

Název modelu: Gatan SmartEMIC systém pro měření proudu indukovaného elektronovým paprskem

Výrobce: GATAN

Distributor: Opodong Co., Ltd.

Komplexní prezentace produktu:

Funkce produktu:

Analytický systém EBIC, který může řídit plně automatický sběr signálu elektronového proudu (EBIC) v reálném čase, získat informace o obrázku EBIC a také získat informace o křivce IV, může zui nakonec testovat polohu PN uzlu, šířku, délku rozptýlení miniatury, polohu bodu poruchy materiálu nebo zařízení, která se široce používá v oblasti elektronických polovodičů.

Charakteristiky produktu:

Vysoce výkonný systém EBIC pro kvalitativní měření EBIC. Přátelský k rozhraní analytický software běží na softwarové platformě DigitalMicrograph.

Systémy SmartEBIC pro SEM zahrnují:

• Počítačově ovládaný zesilovač EBIC napájený nabíjecí baterií

• EBIC vzorkový stojan (ASH) s nastavitelnou volframovou sondou pro stolní kontakt. S vhodným adaptérem Gatan lze také nakládat vzorek vzduchovým zámkem*

• Rozhraní se vzorkovým stolem SEM

• Spojovací zásuvky a 4 BNC kabelové spojení s nízkou hlučností pro tento vzduchový přívod, vhodný pro měření proudů EBIC a elektron

Digitální elektronický řídicí systém DigiScan II s technologií Fireware. Obsahuje dva analogové vstupy pro současné zachycení fotografické kvality a flexibilní ovládání intenzity pixelů, doby pobytu na bod, otáčení skenování atd. U některých SEM může také komunikovat provozní parametry SEM prostřednictvím softwaru.

Digitální mikrografie s pokročilým aplikacním pluginem SmartEBIC pro kvantitativní měření, analýzu lineárních profilů v reálném čase a následné zpracování

Hlavní technické parametry:

SmartEBIC umožňuje automaticky kontrolovat sběr a kvantitativní analýzu signálu EBIC:

Kontrolní systém skenování:

1-, 1-, 2- nebo 4-bitový sběr dat poskytuje mimořádně velký dynamický rozsah

Rozlišení skenování od 16 x 1 do 8000 x 8000 pixelů

Doba pobytu elektronového paprsku, nastavitelná mezi 0,5 ms / pixel a 300 ms / pixel

Automaticky nastavit velikost zobrazení obrazu, což usnadňuje experimentální proces EBIC

Konfigurace Digi-Scan ovladače, plně automatické shromažďování řízené softwarem v reálném čase, umožňuje kvantitativní analýzu signálu při shromažďování signálu EBIC bez dodatečného následného zpracování,

* 6, lze získat informace o obrázku EBIC a také informace o křivce IV.

Ovládání hluku:

Speciálně navržený vzorkový stůl pro příslušenství EBIC

2. Koaxiální vinutí

Opětovně použitelné olovené baterie (životnost 15 hodin)

4. Můžete změnit zisk zesilovače, optimalizovat poměr signálu a hluku pro sběr dat a šířku pásma

Dva volitelné RC filtry první třídy, nízkoprůchozí nebo vysokoprůchozí filtry

6. Low drift zvětšení režim

Mimo dobu komunikace s počítačem se mikroprocesor systému automaticky přepíná do spánku.

8. bohaté nástroje pro zpracování obrazu. Obsahuje nástroje pro ostření, vyhlazování a Fourier transformátory.

Lze přizpůsobit s technologií Lock-in (systém není k dispozici, takže konfigurační systém nebude kvantitativní analýzu signálu EBIC)

Sledování:

Realizace prostřednictvím softwaru. Rozlišení při snímání 12bit (1,22 mV) je +/-5V.

Automatizace:

Systém automaticky optimalizuje velikost obrazu i při špatném nastavení parametrů zesilovače, což umožňuje snadnější prohlížení obrazu.

Automatické nastavení posunu/zisku zesilovače

Software:

Měření délky difuze jednorozměrného procesu

Široká škála analytických nástrojů pro skenování povrchu / linie, včetně nástrojů pro matematickou analýzu, aplikací filtrování atd.

Široká škála možností zobrazení obrazu včetně přeložení sekundárního elektronického obrazu s obrazem EBIC

Programovací jazyk vám pomůže napsat přizpůsobený software pro vaše experimenty

Hlavní aplikace:

Zkušební PN vazba poloha, šířka, délka rozptýlení Minion Kovový materiál

Umístění bodu poruchy materiálu nebo zařízení

Testování hustoty bitové chyby polovodičových materiálů

IV Testování vlastností

Příklady aplikací:

Aplikace 1: Zkoušet polohu PN uzlu, šířku, délku šíření

Aplikace 2: Polohování bodu poruchy materiálu nebo zařízení

Značka: Gatan

Název modelu: Gatan SmartEMIC systém pro měření proudu indukovaného elektronovým paprskem

Výrobce: GATAN

Distributor: Opodong Co., Ltd.