Produktový profil
Systém čištění plynů s regulární teplotou
Vyšší kvalita řešení pro čištění plynu s minimálními náklady. Díky kompaktní konstrukci, nízkým nákladům na provoz a vysoké spolehlivosti lze efektivně čistit hromadné plyny obsahující různé nečistoty, aby dosáhly požadavků na ultračistotu plynu, a zároveň minimální pokles tlaku a vynikající schopnost nepřetržité práce. Celý systém je navržen s montážní konstrukcí, jeho použití je široké a může být použito v terénu a různých oblastech s různými velikostními požadavky.
Výkon produktu
Vhodné pro použití se surovým plynem s čistotou nejméně 99,99 %
◎ Tento produkt je dvojitá konstrukce, jedna sada práce, druhá sada regenerační náhradní
Obsah různých nečistot jako voda, kyslík a další po čištění plynu <10ppb
◎ Elektrochemické leštění 316 (L) z nerezové oceli ◎ vestavěný vysoce účinný filtr
◎ Optimální design cyklu zpracování, velké množství plnění adsorbenta, prodloužená životnost
◎ Celkový design tohoto produktu, kompaktní rozložení a malá plocha
Aplikace produktu
Ochranná čištění plynu: ocel, petrochemický a strojírenský průmysl
◎ Primární čištění plynu potřebného pro elektronický průmysl, jako je vysoce čistý monokrystalický křemík, rozšíření čipu, hromadné integrované obvody a výroba fotoelektrických výrobků.
Polovodičové procesní zařízení: CVD, MOCVD, HVPE, difuzní pece atd.
• Čištění plynu
Systémové parametry