CS100 Řidič a průtokoměr hmotnostiglobální dodavatel

Peking City Economic and Technological Development Zone, Wenchang Avenue 8 (po?tovní ?íslo: 100176)

Výhody

• Výrobky CS100 jsou navrženy na míru zákazníka,
Zákazníci si mohou vybrat napájení ±15V dvojitým napájením nebo +24 jednotlivým napájením podle potřeby;
• kovové nebo gumové těsnění;
• Rozměry výrobků jsou k dispozici pro výrobky, které splňují mezinárodní standardy SEMI, nebo pro těsné výrobky.

Technické parametry

CS100

Modelové číslo

CS100A

CS100D

Typ ventilu

Často zavřeno

Žádný

Často zavřeno

Žádný

Specifikace průtoku (N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

Přesnost

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

Lineární

±0.5% F.S.

Přesnost opakování

±0.2% F.S.

Doba odpovědi

≤ 1sec

Rozsah pracovního tlaku

0.05～0.35MPa； Specifikace průtoku ≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10 <Specifikace průtoku≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30 <Specifikace průtoku ≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； Specifikace průtoku ≤10SLM
0.1～0.35MPa； 10 <Specifikace průtoku≤30SLM

＜0.02 MPa

Teplotní koeficient

Nulový bod: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Při nastavení: ≤ ± 0,1% FS / ℃

Odolnost proti tlaku

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

Míra úniků

1×10^-9Pa·m³/ sec He（1×10^-8atm·cc / sec He）

Těsnění materiálu

Fluorová guma

Kovové těsnění

Maximální pracovní tlak

0.45MPa

Teplota pracovního prostředí

（5～45）℃

Vstupní signál

Simulace:
(0～5)VDC

Číslo: RS485

Žádný

Simulace:
(0～5)VDC

Číslo: RS485

Žádný

Výstupní signál

Simulace:
(0～5)VDC

Číslo: RS485

Simulace: (0-5) VDC

Číslo: RS485

Simulace:
(0～5)VDC

Číslo: RS485

Simulace:
(0～5)VDC

Číslo: RS485

Formy napájecích spojů